ラングミュアプローブ法による低圧誘導結合VHFプラズマの診断
(Langmuir probe measurements in a low pressure inductively coupled VHF plasma)
第50回応用物理学関係連合講演会. 2003年03月27日-2003年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:10:41 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:40:07 +0900