ナノ構造カーボン膜合成用広帯域周波数低圧誘導結合プラズマの特性
(Characteristics of Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition)
203rd Meeting of The Electrochemical Society. 2003年04月27日-2003年05月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:22:12 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:41:22 +0900