RF基板バイアスを用いるプラズマジェットCVDによるc-BN膜合成
(Synthesis of c-BN films by plasma-jet CVD with rf bias)
2003年秋季第64回応用物理学会学術講演会. 2003年08月30日-2003年09月02日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 03:30:58 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:46:15 +0900