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RF基板バイアスを用いるプラズマジェットCVDによるc-BN膜合成
(Synthesis of c-BN films by plasma-jet CVD with rf bias)
2003年秋季第64回応用物理学会学術講演会. August 30, 2003-September 02, 2003.
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Created at: 2017-02-18 03:30:58 +0900 Updated at: 2017-07-10 18:46:15 +0900