低圧誘導結合プラズマＣＶＤによるナノクリスタルダイヤモンド合成
(Preparation of Nanocrystalline Diamond by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 15:18:27 +0900 更新時刻: 2018-05-30 18:48:41 +0900