Characteristics of Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition
(微細構造炭素製膜用広帯域周波数低圧誘導結合プラズマの特性)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:27:01 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:27:01 +0900