Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition
| 著者 | OKADA, Katsuyuki. |
|---|---|
| 掲載誌名 | Proceedings of ISSP 2015 194-197 |
| 出版社 | |
| 出版年 | 2015 |
| 言語 | English |
| 著者 | OKADA, Katsuyuki. |
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| 掲載誌名 | Proceedings of ISSP 2015 194-197 |
| 出版社 | |
| 出版年 | 2015 |
| 言語 | English |