Diagnostics of broad-band frequency low pressure inductively coupled plasma with a Langmuir probe
(ラングミュアプローブによる広帯域周波数低圧誘導結合プラズマの診断)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 11:18:58 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:18:58 +0900