ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合CH4／H2プラズマのイオンエネルギー分布
(Ion energy distributions in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma used for nanocrystalline diamond deposition)
第16回プラズマ材料科学シンポジウム. 2003年06月04日-2003年06月05日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 03:19:12 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:42:47 +0900