Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma
(低圧誘導結合プラズマによるナノ構造ダイヤモンド・ダイヤモンド状炭素・カーボンナノチューブの合成)
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会. 2009年02月02日-2009年02月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:08:30 +0900 更新時刻: 2022-09-05 12:08:30 +0900