ナノ構造カーボン合成用低圧誘導結合VHFプラズマの診断
(Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition)
第68回応用物理学会学術講演会. 2007年09月04日-2007年09月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:30:07 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:59:04 +0900