HOME > その他の文献 > 書誌詳細Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma(低圧誘導結合CH4/H2プラズマにおける非弾性過程)OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Proceedings of SPP-24 259-260. 2007.NIMS著者岡田 勝行Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 11:55:35 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:55:35 +0900
