- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
[論文] | [書籍] | [会議録] | [口頭発表] | [その他の文献] | [公開特許出願]
論文 TSV
書籍 TSV
会議録 TSV
口頭発表 TSV
2025
- HOSOI, Takuji. SiO2/SiC interface engineering via low temperature NO oxynitridation of SiC surface feasible with Si device fabrication equipment. The 22nd International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2025). 2025
- 森本 修太, 津田 龍之介, 細井 卓治. Ge窒化膜からの選択的窒素除去によるGeナノシート形成. 第86回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2025
- 香取 拓真, 細井 卓治. 低温NO酸窒化により形成した極薄SiO2/SiC界面特性評価. 第86回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2025