量産プロセス適用可能なホットウォール酸化炉を用いたSiC-MOS界面へのCO2 POA効果の検証
(Investigation of CO2 Post-Oxidation Annealing Effects on the SiC–MOS Interface Using Mass-Production-Compatible Hot-Wall Oxidation Furnace)
2026年第73回応用物理学会春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-06-03 03:08:15 +0900 更新時刻: 2026-06-03 03:08:15 +0900