Ge窒化膜からの選択的窒素除去によるGeナノシート形成
(Ge nanosheet formation by selective nitrogen removal from Ge nitride films)
第86回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2025年09月07日-2025年09月10日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2025-09-30 03:14:27 +0900 更新時刻: 2025-09-30 03:14:27 +0900