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[公開特許出願] SiO2/SiC界面部に窒素を含む積層体の製造方法、積層体、及び金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ素子

2026-04-28. 特開2026071175号 (Google Patents)

NIMS著者


作成時刻 :2026-05-02 03:07:08 +0900 更新時刻 :2026-05-02 03:07:08 +0900

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