An Electron-Beam-Induced Current Investigation of Electrical Defects in High-k Gate Stacks
(ＥＢＩＣによてHigh-kゲートスタック構造の欠陥の研究)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-27 01:50:08 +0900 更新時刻: 2017-03-17 03:54:40 +0900