SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 会議録 > 書誌詳細

An Electron-Beam-Induced Current Investigation of Electrical Defects in High-k Gate Stacks
(EBICによてHigh-kゲートスタック構造の欠陥の研究)

CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro.
ECS Transcations 299-313. 2010.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2017-02-27 01:50:08 +0900 更新時刻: 2017-03-17 03:54:40 +0900

    ▲ページトップへ移動