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| 著者名 | CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. |
|---|---|
| タイトル | An Electron-Beam-Induced Current Investigation of Electrical Defects in High-k Gate Stacks (ＥＢＩＣによてHigh-kゲートスタック構造の欠陥の研究) |
| 発表誌名 | ECS Transcations |
| 発表年 | 2010 |
| 言語 | English |