HOME > 口頭発表 > 書誌詳細High-temperature diamond MEMS magnetic sensor with on-chip actuation and sensingZHANG, Zilong, 陳 果, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, LIAO, Meiyong. 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.NIMS著者小出 康夫小泉 聡廖 梅勇Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2023-11-30 03:15:58 +0900更新時刻: 2023-11-30 03:15:58 +0900