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Sensing the point defects by single-crystal diamond MEMS resonators

陳 果, ZHANG, Zilong, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, Zhaohui Huang, LIAO, Meiyong.
The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023). 2023年06月25日-2023年06月29日.

NIMS著者

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    作成時刻: 2023-07-19 10:52:07 +0900更新時刻: 2023-07-19 10:52:07 +0900

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