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COMBINATORIAL MATERIALS EXPLORATION FOR THE GATE STACK IN ADVANCED CMOS DEVICES

著者ソム クマラグルバラン, 知京 豊裕, 長田 貴弘, 生田目 俊秀, 吉武 道子, 柳生 進二郎, 陳 君, 関口 隆史.
会議名Second international workshop on advanced functional nanomateria
発表年2013
言語Japanese

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