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著者名SOMU, Kumaragurubaran, CHIKYOW, Toyohiro, NAGATA, Takahiro, NABATAME, Toshihide, YOSHITAKE, Michiko, YAGYU, Shinjiro, CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi.
タイトルCOMBINATORIAL MATERIALS EXPLORATION FOR THE GATE STACK IN ADVANCED CMOS DEVICES
会議名Second international workshop on advanced functional nanomateria
発表年2013
言語English
外部での文献参照

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