SAMURAI - NIMS Researchers Database

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研究内容

Keywords

マイクロ・ナノデバイス 薄膜・表面界面物性

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

特許
  • 特許第6408257号 コンタクトプローブ及びその製造方法、非破壊的なコンタクト形成方法、多層膜の製造過程における測定方法並びにプローバー (2018)
  • 特許第5114774号 金属層―トンネルバリア層―センサー構造及びこの構造を有するセンサー (2012)
  • 特許第6245609号 無欠陥領域を有するエピタキシャル膜を基板上に形成する方法及び無欠陥領域を有するエピタキシャル膜付き基板 (2017)

所属学会

応用物理学会 日本真空協会 表面科学会

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第二期開発予定
第二期開発予定

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