SAMURAI - NIMS Researchers Database

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Research

Keywords

マイクロ・ナノデバイス 薄膜・表面界面物性

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Misc
Patents
  • No. 6408257 コンタクトプローブ及びその製造方法、非破壊的なコンタクト形成方法、多層膜の製造過程における測定方法並びにプローバー (2018)
  • No. 5114774 金属層―トンネルバリア層―センサー構造及びこの構造を有するセンサー (2012)
  • No. 6245609 無欠陥領域を有するエピタキシャル膜を基板上に形成する方法及び無欠陥領域を有するエピタキシャル膜付き基板 (2017)

Society memberships

応用物理学会 日本真空協会 表面科学会

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