強誘電体HfxZr1−xO2/TiNの界面反応に起因する 分極疲労抑制メカニズムに関する考察
(Considerations on possible mechanism of suppression of fatigue properties induced by interface reaction at ferroelectric-HfxZr1−xO2/TiN)
第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2024年01月31日-2024年02月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-02-09 03:10:28 +0900更新時刻: 2024-02-09 03:10:28 +0900