HOME > Presentation > Detail
強誘電体HfxZr1−xO2/TiNの界面反応に起因する 分極疲労抑制メカニズムに関する考察
(Considerations on possible mechanism of suppression of fatigue properties induced by interface reaction at ferroelectric-HfxZr1−xO2/TiN)
第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会. January 31, 2024-February 02, 2024.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2024-02-09 03:10:28 +0900Updated at: 2024-02-09 03:10:28 +0900