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著者名廖 梅勇, 井村 将隆, サン リウエン, 寺地 徳之, 小泉 聡, 小出 康夫.
タイトル単結晶ダイヤモンドMEMSデバイスの研究
掲載誌名NEW DIAMOND 34 [1] 12-16
発表年2018
言語Japanese
ESIでのカテゴリ

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