HOME > Article > Detail単結晶ダイヤモンドMEMSデバイスの研究廖 梅勇, 井村 将隆, サン リウエン, 寺地 徳之, 小泉 聡, 小出 康夫. NEW DIAMOND 34 [1] 12-16. 2018.NIMS author(s)LIAO, MeiyongIMURA, MasatakaSANG, LiwenTERAJI, TokuyukiKOIZUMI, SatoshiKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2018-02-03 20:44:15 +0900Updated at: 2018-12-15 01:04:06 +0900