ヘリウムイオン顕微鏡による表面化学分析用標準試料の経年変化の解析
(Aging Analysis of Reference Sample Surface Using Helium Ion Microscopy)

著者	Keiko ONISHI, Shoko NAGANO, Daisuke FUJITA, Taro YAKABE, Akiko ITAKURA.
掲載誌名	表面と真空 64 [9] 424-429
出版社	公益社団法人 日本表面真空学会
発表年	2021
言語	Japanese
DOI	https://doi.org/10.1380/vss.64.424
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