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板倉 明子
Address
305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

Hydrogen permeation, Surface stress, Thin film, Sensing,

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

書籍
会議録
その他の文献
特許
  • 特許第4930940号 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 (2012)
  • 特許第3950951号 欠陥表面応力の緩和方法 (2007)
  • 特許第3572358号 表面欠陥検出方法およびその装置 (2004)
  • 特開2008216021号 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 (2008)
  • 特開2005051081号 二次元パターニング方法ならびにそれを用いた電子デバイスおよび磁気デバイスの作製方法 (2005)
  • 特開2006284343号 高分子膜の体積膨張に伴うストレス変化を利用した湿度センサー (2006)

所属学会

日本表面科学会、日本真空学会、日本物理学会

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