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ITAKURA, Akiko
Address
305-0047 1-2-1 Sengen Tsukuba Ibaraki JAPAN [Access]

Research

Keywords

Surface stress, Thin film, Sensing,

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Books
Proceedings
Presentations
Misc
Patents
  • No. 4930940 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 (2012)
  • No. 3950951 欠陥表面応力の緩和方法 (2007)
  • No. 3572358 表面欠陥検出方法およびその装置 (2004)
  • No: 2008216021 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 (2008)
  • No: 2005051081 二次元パターニング方法ならびにそれを用いた電子デバイスおよび磁気デバイスの作製方法 (2005)
  • No: 2006284343 高分子膜の体積膨張に伴うストレス変化を利用した湿度センサー (2006)

Society memberships

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