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研究内容
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- Makoto Sakurai, Shoko Nagano, Christian Joachim. Local heat generated by a focused He+ ion beam. Nanotechnology. 31 [34] (2020) 345708 10.1088/1361-6528/ab91f3
- Chikako Sakai, Nobuyuki Ishida, Shoko Nagano, Keiko Onishi, Daisuke Fujita. In situ voltage-application system for active voltage contrast imaging in helium ion microscope. Journal of Vacuum Science & Technology B. 36 [4] (2018) 042903 10.1116/1.5031086
- C. Sakai, N. Ishida, H. Masuda, S. Nagano, M. Kitahara, Y. Ogata, D. Fujita. Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy. Applied Physics Letters. 109 [5] (2016) 051603 10.1063/1.4960524
口頭発表
- 永野 聖子, 大西 桂子, 酒井 智香子, 藤田 大介. ヘリウムイオン顕微鏡による加工と観察の紹介. 共用・計測合同シンポジウム2015. 2015
- SAKAI, Chikako, ISHIDA, Nobuyuki, NAGANO, Shoko, ONISHI, Keiko, FUJITA, Daisuke. In situ Voltage-Application System for Observation of Electrical Potential Distribution in Helium Ion Microscope. ACSIN-14. 2018
- SAKAI, Chikako, ISHIDA, Nobuyuki, NAGANO, Shoko, ONISHI, Keiko, FUJITA, Daisuke. Electrical Potential Imaging of Multilayer Ceramic Capacitors with Arbitrary Applied Voltages using Helium Ion Microscope. The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8). 2017
第二期開発予定
第二期開発予定