原子間力顕微鏡の高さ像は試料表面の3次元形状を表していると考えられているが、実際の観察像は有限の大きさを持つ探針先端形状によって拡張されたものであり、探針先端形状から観察像をより正しい試料表面の3次元形状に再構成するためのガイドラインが我々の提案により国際規格（ISO 23729: 2022）として発行された。さらに、様々な探針先端形状の推測方法を検討している。
SPMの一種であるケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）は探針と試料表面の接触電位差をナノスケールで測定できるが、正確な測定のためには適切な標準試料の選定等が不可欠であり、ガイドラインの提案が採択され、国際規格を作成中である。

材料開発には、顕微表面化学分析装置によるナノスケールでの同一箇所解析が不可欠である。しかし、複数装置の出力から同一箇所の情報を自動抽出することは難しく、画像を人間の目で比較し場所を特定しているのが現状である。ある装置の座標系での位置情報と別の装置の装置の座標系との関係が決定できれば、異なる座標系で同一位置を指定することが可能となる。また、データの自動比較にはデータフォーマットが同一である必要がある。我々が日本から提案したSPM標準フォーマットが国際規格（ISO 28600: 2011）として発行されている。また、共通位置合わせの国内規格（JIS K 0199: 2022）が発行され、共通データフォーマットのJIS規格も審議中である。