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著者名CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, CHIKYOW, Toyohiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Yasuo Nara, Keisaku Yamada.
タイトルElectron Beam Induced Current Investigation of Stress-Induced Leakage and Breakdown Processes in High-k stacks
発表誌名IEEE IRPS 2009 Proceedings
発表年2009
言語English

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