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MOCVD法を用いて成長したNドープZnO膜のアニール効果

著者中浦 拓也, 原田 善之, 長田 貴弘, 関口 隆史, 知京 豊裕, 鈴木 摂, 石垣 隆正, 角谷 正友.
会議名第62回応用物理学会春季学術講演会
発表年2015
言語Japanese

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