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- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
マイクロ・ナノデバイス 薄膜・表面界面物性 表面分析
REELSによる誘電関数データベースの構築
高エネルギー分解能型のREELS装置を開発いたしました。これにより、可視光から超軟X線帯の、特に化合物のデータを高精度かつデータの欠けなく測定できるようになります。この装置を用いて、誘電関数のデータベースの構築を目指しております。
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- 原田 善之, 加藤 誠一, 児子 精祐, 北澤 英明, 木戸 義勇. 希少金属代替を可能にした陽極酸化アルミニウムによる次世代メモリ. アルトピア. 2013 [4] (2013) 15-22
- 原田 善之, 吉澤正人. 二硼化マグネシウム膜を用いた超伝導デバイスの開発. ケミカルエンジニアリング. 56 [5] (2011) 375-381
書籍
- HARADA, Yoshitomo, Koichiro Kobayashi, Masahito Yoshizawa. MgB2 SQUID for Magnetocardiography. Superconductors - Properties, Technology, and Applications. , 2012, 389-404.
会議録
- SUZUKI, Mineharu, HARADA, Yoshitomo, 上島 豊, MATSUNAMI, Shigeyuki, 後藤 敬典, YOSHIKAWA, Hideki. Application of Electronic Laboratory Notebook for Analysis Records in Materials Research. Journal of Surface Analysis. (2019) 188-189
- 原田 善之, 加藤 誠一, 児子 精祐, 北澤 英明, 木戸 義勇. 希少金属代替陽極酸化皮膜による次世代型メモリー. アルミニウム研究会誌. (2013) 1-9
口頭発表
- 原田 善之, 達 博, 田沼 繁夫, 吉川 英樹. 高エネルギー分解能REELSによるSi試料の角度分解測定. 2018年日本表面真空学会学術講演会. 2018
- 原田善之, DABo, 吉川英樹. 高分解能REELS装置の紹介. MI・計測 合同シンポジウム. 2018
- HARADA, Yoshitomo, SUMIYA, Masatomo. Growth of non-polar ZnO films with smooth surface by MOCVD in a hydrogen ambient. 2013 JSAP-MRS joint symposium. 2013
特許
- 特許第5728785号 ＭＩＳ構造の抵抗型変化型メモリ素子 (2015)
- 特許第5939482号 抵抗変化型メモリ素子およびその製造方法 (2016)
- 特許第5780543号 電子線描画法を用いた陽極酸化アルミナ及びその製造方法 (2015)
- 特開2012180536号 電子線描画法を用いた陽極酸化アルミナ及びその製造方法 (2012)
- 特開2013055209号 ＭＩＳ構造の抵抗変化型メモリ素子 (2013)
- 特開2013089740号 アルミナ抵抗変化型メモリ素子の製造方法 (2013)
所属学会
応用物理学会、物理学会、表面科学会、表面分析研究会