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著者名深田 直樹, 齋藤直之, 石田 慎哉, 横野茂輝, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトルイオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピング
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation)
会議名2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会
発表年2010
言語Japanese
外部での文献参照

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