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イオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピング
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation)

深田 直樹, 齋藤直之, 石田 慎哉, 横野茂輝, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.

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    作成時刻 :2017-02-14 11:27:44 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:42:28 +0900

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