HOME > 口頭発表 > 詳細口頭発表の表示著者名深田 直樹, 齋藤直之, 石田 慎哉, 横野茂輝, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一. タイトルイオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピング(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation)会議名2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会発表年2010言語Japanese