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イオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピング
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation)
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.
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Created at: 2017-02-14 11:27:44 +0900Updated at: 2017-07-10 20:42:28 +0900