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EBICによるHigh-k/metal gate構造内の電気ストレス誘起欠陥発生のその場観察
(In-situ EBIC observation of electrical-stress induced defects in high-K/metal gate stacks)

陳 君, 関口 隆史, 高瀬 雅美, 深田 直樹, 知京 豊裕, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 佐藤基之, 奈良安雄, 山田啓作.
2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会 . 2009.

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    作成時刻 :2017-02-14 11:13:45 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:28:07 +0900

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