Effect of Oxygen Terminal Surface Adsorption Layer on Energy Dissipation in Single-Crystal Diamond MEMS
第85回応用物理学会秋季学術講演会. 2024年09月16日-2024年09月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-04-11 03:07:00 +0900 更新時刻: 2025-04-11 03:07:00 +0900