HOME > 口頭発表 > 書誌詳細シリコン・カーバイド熱酸化プロセスに関する第一原理的研究(A First Principles Study on the Processes of Silicon Carbide Thermal Oxidation)山崎 隆浩, 田島 暢夫, 金子 智昭, 奈良 純, 清水達夫, 加藤弘一, 大野 隆央. 応用物理学会秋季学術講演会. 2015.NIMS著者奈良 純大野 隆央Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-02-14 11:23:12 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:18:46 +0900