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シリコン・カーバイド熱酸化プロセスに関する第一原理的研究
(A First Principles Study on the Processes of Silicon Carbide Thermal Oxidation)
応用物理学会秋季学術講演会. 2015.
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Created at: 2017-02-14 11:23:12 +0900Updated at: 2017-07-10 22:18:46 +0900