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著者名山崎 隆浩, 田島 暢夫, 金子 智昭, 奈良 純, 清水達夫, 加藤弘一, 大野 隆央.
タイトルシリコン・カーバイド熱酸化プロセスに関する第一原理的研究
(A First Principles Study on the Processes of Silicon Carbide Thermal Oxidation)
会議名応用物理学会秋季学術講演会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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