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イオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピングと電気的活性化
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation and electrical activation of implanted impurities)

齋藤直之, 瀬岡雅典, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会. 2008.

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    作成時刻 :2017-01-08 04:29:58 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:16:00 +0900

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