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イオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピングと電気的活性化
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation and electrical activation of implanted impurities)
2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会. 2008.
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Created at: 2017-01-08 04:29:58 +0900Updated at: 2017-07-10 20:16:00 +0900