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著者名齋藤直之, 瀬岡雅典, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトルイオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピングと電気的活性化
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation and electrical activation of implanted impurities)
会議名2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
発表年2008
言語Japanese
外部での文献参照

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