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著者名滝口亮, 鈴木慶太郎, 深田 直樹, 菱田 俊一, 陳 君, 関口 隆史, 村上浩一.
タイトル低温オゾン酸化によるSiNWs中のB偏析抑制効果
(Suppression of B segregation in silicon nanowires by low temperature ozone-oxidation)
会議名秋季第72回応用物理学会学術講演会
発表年2011
言語Japanese
外部での文献参照

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