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著者名齋藤直之, 石田 慎哉, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトル短時間アニールを利用したBイオン注入Siナノワイヤの結晶性回復とBの電気的活性化
(Recrystallization and electrical activation of Boron in B+ implanted Si nanowires by short time annealing)
会議名2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会
発表年2009
言語Japanese
外部での文献参照

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