P イオン注入後のSi ナノワイヤの結晶性回復とP の電気的活性化
(Recrystallization and electrical activation of P donors in P ion-implanted Si nanowires)
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会. 2009年09月08日-2009年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:10:18 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:36:22 +0900