HOME > Presentation > DetailP イオン注入後のSi ナノワイヤの結晶性回復とP の電気的活性化(Recrystallization and electrical activation of P donors in P ion-implanted Si nanowires)石田 慎哉, 齋藤直之, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一. 2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会. 2009.NIMS author(s)FUKATA, NaokiCHEN, JunHISHITA, ShunichiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-01-08 05:10:18 +0900Updated at: 2017-07-10 20:36:22 +0900