Ga diffusion profile and electrical properties of GaN capacitors with high-k gate insulators

NABATAME, Toshihide, SAWADA, Tomomi, IROKAWA, Yoshihiro, YASUFUKU, Hideyuki, NISHIO, Mitsuaki, KAWADA, Satoshi, KOIDE, Yasuo, TSUKAGOSHI, Kazuhito.

THERMEC 2023 International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced MaterialsProcessing, Fabrication, Properties, Applications. 2023. 招待講演

NIMS著者

生田目俊秀
色川芳宏
安福秀幸
西尾満章
川田哲
小出康夫
塚越一仁

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2023-07-27 11:27:56 +0900更新時刻: 2024-01-09 03:09:04 +0900