GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長
(Highly orientation growth of an amorphous Ga2O3 film on GaN(0001) by annealing process)
第28回 電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-02-08 03:36:08 +0900更新時刻: 2023-02-08 03:36:08 +0900