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GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長
(Highly orientation growth of an amorphous Ga2O3 film on GaN(0001) by annealing process)

著者澤田 朋実, 生田目 俊秀, 高橋 誠, 伊藤 和博, 女屋 崇, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁.
会議名第28回 電子デバイス界面テクノロジー研究会
発表年2023
言語Japanese

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